ETL/EDL/NEDL准分子激光空气隙透镜

准分子激光空气隙透镜是在紫外光谱区域有高透过率的合成石英透镜构成的紫外激光用聚光透镜。没有使用吸收紫外光的玻璃或粘着剂，所以耐光性很好。248nm透镜由2枚或3枚球面透镜的组成，校正了球差和慧差。

所属品牌： 日本OptoSigma

产品介绍

准分子激光空气隙透镜是在紫外光谱区域有高透过率的合成石英透镜构成的紫外激光用聚光透镜。没有使用吸收紫外光的玻璃或粘着剂，所以耐光性很好。248nm透镜由2枚或3枚球面透镜的组成，校正了球差和慧差。248聚焦镜也可以作为Kr*F准分子激光（248nm），YAG激光的4次谐波（266nm），3次谐波（355nm）的聚光透镜使用。NA0.1以下的透镜，对准直激光成像后的焦点光斑直径几乎接近衍射极限。（ETL为0.25以下）

Optosigma准分子激光透镜ETL/EDL/NEDL使用注意事项

- Optosigma准分子激光透镜令无限远物体成像于焦点位置，或将点光源转化为平行光。如果要对近距离的物体进行成像，透镜的光学性能将不能得到充分发挥。

-入射光要从指定方向进入聚光透镜，一定要使平行光从上面（SIGMA KOKI为正立文字）入射到透镜中。如果入射光从反方向射入透镜，将导致球差恶化，焦点光斑变大，成像模糊。

-准分子激光透镜在设计波长之外的条件下使用时，导致球差恶化，透过率降低。

-248聚焦镜在使用大功率激光器，或在热源附近使用时，可能导致聚光透镜温度升高，焦距变化。如果长时间使用时一定要有良好的散热措施。

-准分子激光空气隙透镜不是消色透镜，没有校正色差。

-248nm透镜的表面反射（4%）将造成约有20%的透过损失。

西格玛光机准分子激光空气隙透镜ETL/EDL/NEDL使用信息

-承接制造产品目录之外的高能量脉冲激光或指定波长的产品。

-按照客户技术指标，可以进行数百个量级的批量生产。

-为了保护眼睛避免激光加工溅出的粉末的损伤，可以配置另外销售的保护眼镜。

-关于各波长的焦距，请参考西格玛光机网页的［焦距随波长变化表］

西格玛光机准分子激光透镜ETL/EDL/NEDL型号汇总列表

型号	焦距f〔mm〕	长度L〔mm〕	NA	工作距离WD〔mm〕
ETL-30-40P	39.6	22	0.34	31.1
ETL-30-50P	49.8	22	0.27	41.6
ETL-30-60P	59.7	22	0.23	52.4
ETL-30-80P	79.8	22	0.17	73.2
NEDL-30-100P	99.9	12	0.14	94.6
NEDL-30-150P	149.3	12	0.09	144.6
NEDL-30-200P	199.3	12	0.07	194.7
EDL-50-100P	100.4	20	0.24	87.1
EDL-50-150P	149.6	20	0.16	137.9
EDL-50-200P	199.1	20	0.12	187.8
EDL-50-250P	249.0	20	0.09	238.0
EDL-50-300P	298.6	20	0.08	288.0

Optosigma ETL/EDL/NEDL准分子激光聚焦镜技术指标

共同指标
材质	准分子激光用合成石英（空气隙）
镜筒材质	铝合金表面处理：阳板氧化发黑
设计波长	248nm
镀膜	无
入射角公差	±1°

西格玛光机准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL外形图

Optosigma准分子激光聚焦镜ETL/EDL/NEDL功能说明图

ETL/EDL/NEDL准分子激光空气隙透镜

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