Laseroptik准分子激光反射镜 193,248nm

德国Laseroptik成立40年以来，生产了约350万片激光反射镜，Laseroptik反射镜可应用于各个领域。在LASEROPTIK，技术与热情并存，开拓精神与传统并重，使得其薄膜技术大放异彩，专门定制生产VUV到IR的高损伤阈值激光光学元件，还可根据客户需求提供各种镀膜定制。

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产品介绍

德国Laseroptik成立40年以来，生产了约350万片激光反射镜，Laseroptik反射镜可应用于各个领域。在LASEROPTIK，技术与热情并存，开拓精神与传统并重，使得其薄膜技术大放异彩，专门定制生产VUV到IR的高损伤阈值激光光学元件，还可根据客户需求提供各种镀膜定制。其中包含Laseroptik准分子反射镜(Excimer Mirror)，红外反射镜和衰减器等。

LASEROPTIK在紫外（UV 180-379nm）范围内的镀膜涂层方面拥有长期丰富的经验，其准分子激光反射镜_Laseroptik具有高损伤阈值和高反射率等特点，如：HR 157nm / 0°时，15ns脉冲的LIDT>400 mJ/cm2。常用紫外反射镜标准品有193nm反射镜，248nm反射镜和355nm反射镜，除了标准品可选，还能够提供定制的193,248nm反射镜。

Laseroptik准分子激光反射镜的规格参数表：

λ(nm)	AR(0°); R<	method	AR(45°); R<	method
193	0.5%	EBE	0.75%	EBE
248	0.25%	EBE	0.75%	EBE
266	0.25%	EBE	0.6%	EBE
355	0.2%	EBE	0.6%	EBE
0.05-0.1% low loss		IBS	0.05-0.1% low loss	IBS

*取决于价格、基板尺寸和激光功率

λ(nm)	ＨR(0°); R＞	method	ＨR(45°); R＞	method
193	96%	EBE	92% (goal 96%)	EBE
	96% (goal 96%) on Fluoride	EBE	95% on Fluoride	EBE
213	98%	EBE	97%	EBE
248	99.5%	EBE	99%	EBE
266	99.5%	EBE	99.5% standard	EBE
	99.5%	IBS	99.5% high power	MS
308	99.5%	EBE	99.2%	EBE
	99.7%	IBS	99.7%	IBS
343	99.5%	EBE	99.2%	EBE
351	99.5%	EBE	99.2%	EBE
355	99.5% high power	MS	99.5% standard	EBE
	99.9% low loss	IBS	99.9% low loss	IBS
			99.5% high power	MS

λ(nm)	AOI	method
193 TP>80%, Ts<10%	73°	EBE
248 TP>80%, Ts<2%	Brewster	EBE
266 TP>90%, Ts<2%	Brewster	EBE
355 TP>94%, Ts<2%	Brewster	EBE
TP>96%, Ts<0.2%	Brewster	IBS

λ(nm)	0°→45°; T=	method
193	80%→10%	EBE
248	90%→2% standard	EBE
	95%→1% high power	MS
266	92%→1% standard	EBE
355	92%→1% standard	EBE
	92%→1% non-shifting	IAD