193nm准分子激光反射镜

激光反射镜193nm的基底材质有紫外级熔融石英（UV Grade Fused Silica，如Corning 7980，BK7），193nm反射镜还可称为深紫外高反镜、193反射镜、准分子激光镜和ArF反射镜

所属品牌： 中科光学

产品介绍

我们提供种类齐全的高品质准分子激光镜，这些激光反射镜193nm为高能准分子激光应用而设计，独特的镀膜技术，为用户提供适用于严苛激光环境的光学元件。

193nm反射镜还可称为深紫外高反镜、193反射镜、准分子激光镜和ArF反射镜。193nm是氟化氩（ArF）准分子激光的特征波长，属于深紫外（DUV）波段。193nm深紫外高反镜镀多层介质镀膜或增强金属镀膜，在193nm处实现高反射率，同时抑制吸收与散射，适配激光系统的光束转向、谐振腔搭建等需求；193nm准分子激光反射镜常用入射角度为0°和45°。

激光反射镜193nm的基底材质有紫外级熔融石英（UV Grade Fused Silica，如Corning 7980，BK7），热稳定性好、波前畸变低、193nm抗辐射性能强；还有一些场景会用CaF₂（氟化钙）进一步提升光学均匀性。另外，ArF准分子反射镜/193反射镜还可根据用户需求提供定制。

193nm反射镜/ArF准分子反射镜的特点：

- ArF反射镜标准品型号多，有库存，货期短

- 193反射镜反射率高，经过多个反射镜反射后，光量也不会衰减很多

- 使用吸收小的电介质膜，可以承受大功率激光的连续照射

准分子激光镜/深紫外高反镜/激光反射镜193nm图示

193nm反射镜/ArF准分子反射镜基底规格：

规格	参数
材质	熔融石英(如康宁7980)，BK-7，CaF₂
镀膜	多层电介质膜，金属膜
面型精度	λ/10
表面质量	10-5
有效直径	≥80%，≥85%

193nm准分子激光反射镜/ArF反射镜的应用

- 半导体光刻

- 准分子激光加工

- 科研，超快激光

- 工业检测

193nm准分子激光反射镜/ArF反射镜的标准型号表：

型号	中心波长	入射角度	反射率	尺寸	厚度t	损伤阈值
102728	193nm	45°	>95%	∅25mm	3mm	-
107229	193nm	45°	>95%	∅25mm	6.35mm	-
101354	193nm	45°	>95%	∅50mm	5mm	-
131307	193nm	0°	>96%	∅20mm	4mm	-
101713	193nm	0°	>96%	∅25mm	6.35mm	-
101233	193nm	30°	>96%	50x27mm	3mm	-
L-00354	193nm	45°	>92% (goal 96%)	50x27mm	1.5mm	-
L-00206	193nm	45°	>92% (goal 96%)	∅25mm	6.35mm	-
L-03303	193nm	45°	>92% (goal 96%)	60x35mm	2mm	-
ARF-1025-45	193nm	45°	R≥96.0%	∅25.4mm	6.35mm	1 J/cm², 20ns
ARF-2037-45	193nm	45°	≥96.0%	∅50.8mm	9.53mm	1 J/cm², 20ns
ARF-3050-45	193nm	45°	≥96.0%	∅76.2mm	12.7mm	1 J/cm², 20ns
DUVA-PM-0512-UV	193nm	0-45°	>90%	∅12.7mm	3.18mm	金属膜,低功率应用
DUVA-PM-1025-UV	193nm	0-45°	>90%	∅25.4mm	6.35mm	金属膜,低功率应用
DUVA-PM-2037-UV	193nm	0-45°	>90%	∅50.8mm	9.53mm	金属膜,低功率应用
TFMHP-25.4C05-193	193nm	45°±3°	＞95％	∅25.4mm	5mm	2J/cm², 20ns, 20Hz,0°
TFMHP-30C05-193	193nm	45°±3°	＞95％	∅30mm	5mm	2J/cm², 20ns, 20Hz,0°
TFMHP-50C08-193	193nm	45°±3°	＞95％	∅50mm	8mm	2J/cm², 20ns, 20Hz,0°

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