193nm,248nm反射镜CVI

CVI Laser Optics凭借在研究、开发和制造工艺方面50多年的专业经验，可以为客户提供专业的知识、深厚的能力和广泛的制造资源。其中，CVI有一款高性能、高损伤阈值和高可靠性的反射镜(CVI Mirrors)，CVI反射镜用于光束路由、对准和采样。

所属品牌： 美国CVI Laser Optics

产品介绍

CVI反射镜的规格性能Capabilities：

规格	标准	自定义选项
类型	窄带局部反射窄带激光线双波段激光线宽带介质金属涂层	定制波长(190nm到2100nm之间) 定制形状（弧形、圆柱形）
材料	N-BK7，UV级熔融石英	CaF2, Zerodur
直径	12.7-101.6mm	3-300mm
曲率半径	凹面或凸面：0.10-5.00m	其他半径
入射角	0°, 45°	其他AOI
涂层	部分反射，30%-99% 激光线双波长紫外线铝保护银保护金	定制反射率，10%至99% 其他波长（190–2100nm）其他入射角超高损伤阈值
质量	精确度、激光质量	请参见以下制造公差

CVI激光光学公司对激光反射镜的性能要求：低散射、出色的表面形状、高损伤阈值和高可靠性。CVI Laser Optics拥有适用于各种典型激光应用的反射镜，包含在平面和曲面基底上镀膜的部分反射镜和高反反射镜，可用于单波长、双波长或宽带波长。另外，CVI Laser Optics的镀膜技术能力出色，波长范围从190nm到2100nm，包括电子束介质、高级等离子源、高密度铝、银和金镜面镀膜等，当然，出色的193nm/248nm反射镜也是少不了的。

CVI Laser Optics经常与OEM客户合作，专门为用户的系统制造反射镜，形状、尺寸、基底材料和曲率半径均可定制，CVI Laser Optics任何一种坚固耐用的高性能标准涂层都可以应用于用户所选择的波长和入射角，或者可以设计一种涂层来满足用户的需求，CVI反射镜在1064nm能够承受高达40J/cm2的脉冲功率。CVI Laser Optics拥有用于半导体应用的专业真空铝镀膜技术，以40多年设计和制造激光光学元件的经验，可以为用户制造出合适的反射镜。

图1：激光反射镜图示

CVI反射镜制造能力**：

规格	表面公差	激光质量
表面质量(划痕-挖掘)	20-10	10-5
表面粗糙度(Å, RMS)	20	5
表面图(镀膜前的P-V@633nm)	λ/4	λ/10
尺寸公差	标准	精确度
直径(mm)	+0/-0.25	+0/-0.10
厚度(mm)	±0.25	±0.10
角度偏差	≤5arc min	≤10arc sec
清晰孔径	≥85%	≥85%

** 注：上述一般公差规范旨在指导根据相对成本和可制造性确定适当的公差，具体零件的公差因尺寸、材料、形状和长宽比的不同而异，可能会有更严格的公差。所有规格不一定都是单一的，但可能需要进行权衡，以满足成本和性能的理想组合，详情，请联我们。

准分子激光反射镜：ARF系列(193反射镜)和KRF系列(248反射镜)

CVI提供种类繁多的高质量准分子248nm/193nm激光反射镜，专门设计用于高能准分子激光应用，其中，准分子反射镜拥有的独特涂层性能一直优于行业标准，可为客户提供适用于最苛刻激光环境的光学反射镜。

248nm/193nm激光反射镜规格参数：

产品编号：ARF, KRF

基底材料：标准康宁7980 1-D（熔融石英）

直径公差：+0/-0.25mm

厚度公差：±0.25mm

楔形Wedge: ≤5 arc minutes

倒角Chamfer:

Ø≤50.8mm: 45°时，脚管宽度为0.35mm

Ø>50.8mm: 45°时，脚管宽度为0.85mm

S1面：<λ/10 p-v，波长633nm (镀膜前) ；在特定基底上镀膜后

S1表面质量：根据MIL-PRF 13830b标准，10-5划痕-挖掘(100W时)

S2表面质量：商业抛光

孔径：≥中心直径的85%

附着力和耐久性：符合MIL-C-48497a标准

入射角度：45°

反射率（193nm）：45°，UNP时R≥96.0%

反射率（248nm）：45°，UNP时R>99.0%

损伤阈值：

1J/cm²，脉冲20ns，波长193nm

3J/cm²，脉冲8ns，波长248nm

248nm/193nm激光反射镜命名规则：

建立编号(命名规则)
第一步	第二步	第三步
产品编号	规格编码	入射角
ARF	1537	45°
示例：ARF-1537-45

请选择以下选项：

1. 产品编码	激光器类型	波长
ARF	ArF固体准分子激光器	193nm
KRF	KrF固体准分子激光器	248nm

2. 尺寸编码	直径 (mm)	厚度 (mm)
1025	25.4	6.35
1537	38.1	9.53
2037	50.0	9.53
3050	76.2	12.7

3. 入射角度
45	45 degrees

193nm,248nm反射镜CVI的反射率曲线图：

左图：0°和45°时，193nm准分子激光反射镜的反射率与波长的关系：0°时最小反射率>97%，45° UNP时>96%，45° P-Pol时>94%，45° S-Pol时>97%。

右图：0°和45°时，248nm准分子激光反射镜的反射率与波长的关系：0°时最小反射率>99.5%，45° UNP时>99%。

193nm,248nm反射镜CVI

193nm准分子激光反射镜

266nm激光反射镜

三倍频Nd:YAG激光反射镜,355nm

离子束溅射镀膜（IBS）反射镜