
3photon可变反射镜VRM,超高斯反射镜是一种独特的光学元件,反射镜主要应用是改善光束轮廓,在不稳定谐振器中产生高质量的激光束。可变反射镜主要用于Nd: YAG激光系统作为高斯输出耦合器。
所属品牌: 立陶宛3photon
可变反射镜(VRM)也称为径向梯度反射镜(RGRM),渐变反射镜(GRM)或(超级)高斯反射镜是一种独特的光学元件,设计用于特定波长。反射值根据镜子表面与镜子中心的距离而变化。通常,这种涂层的中心反射率最高。这些反射镜只能由全球少数光学薄膜镀膜公司生产。
可变反射镜应用:
-改善光束轮廓(形状)并在具有高脉冲能量和低发散度不稳定谐振器中产生高质量的激光束;
-可变反射镜主要用于Nd:YAG(Nd:Y3到5或12)激光系统作为腔体光学器件(高斯输出耦合器);
-为了实现更高的泵浦效率,可变反射镜(VRM)用于倍频系统。
在谐振器中使用可变反射镜VRM的优缺点
-提取效率极佳;
-近乎完美的M2;
-较低的背离度;
-与其他谐振器类型相比,场均匀性更小;
-重复频率和输入能量可以在非常窄的范围内调节。
可变反射镜特点:
-可变反射镜配置文件仅适用于单个特定波长;
-对于高功率应用极其稳定;
-降低高能激光系统中光学损伤的风险。
生产可变反射镜的最简单方法是使用专门设计的掩模沉积单个高反射指数层。VRM(GRM)通常通过固定掩模法(采用阴影效果)或旋转掩模法生产。
从下图可以看到特定点反射率与中心反射率、半径、涂层半径、K阶之间的关系。R=15%-40%,波长266-2500nm。在高功率应用中很稳定,反射镜在高功率非稳定激光谐振器有利于它们对有源介质的宽填充和在硬边孔上的弱衍射。因此,超高斯可变反射率镜有助于更好的近场和远场光束质量。

193nm准分子激光反射镜
激光反射镜193nm的基底材质有紫外级熔融石英(UV Grade Fused Silica,如Corning 7980,BK7),193nm反射镜还可称为深紫外高反镜、193反射镜、准分子激光镜和ArF反射镜
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266nm激光反射镜
266nm四倍频Nd:YAG激光反射镜的反射率高达99.2%~99.9%;窄带设计在266nm附近高反,避免杂光干扰,这是为Nd:YAG激光器四倍频(1064nm→532nm→266nm)深紫外波段设计的高精度光学元件,这款266nm激光反射镜/四倍频反射镜核心是多层介质膜实现高反射、低损耗,适配苛刻的紫外激光场景。
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三倍频Nd:YAG激光反射镜,355nm
三倍频Nd:YAG激光反射镜,355nm的基底材质有熔融石英(Fused Silica),紫外透过性好、热膨胀系数低、抗辐射;还可提供BK7和CaF2等材质,355nm属于紫外波段,是1064nm红外激光经非线性晶体两次倍频后的波长;该反射镜通过多层介质膜的干涉叠加实现对355nm的高反射、低吸收/透射
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离子束溅射镀膜(IBS)反射镜
CVI Laesr Optics对于镀膜工艺和CVI反射镜的研发有着50多年研发和改进经验,IBS反射镜又称离子束溅射镀膜反射镜。在CVI Laser Optic中又被称为高环境稳定性反射镜,低损耗Nd:YAG激光镜。CVI Laser Optics采用了专有的原位工艺控制技术,能够以极高的精度沉积复杂的薄膜结构。离子束溅射镀膜(IBS)反射镜往往采用的就是这种光纤激光反射镜。
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