Sigma反射镜具备高反射率和高损伤阈值等特点，其OptoSigma高精度平面反射镜也不例外，损伤阈值高达20J/cm2，反射率>99.5%，镀膜后面型精度达λ/10，是一款理想的反射镜。
所属品牌： 日本OptoSigma
高面型精度反射镜的主要特点：
- OptoSigma高精度平面反射镜的表面精度（镀膜后）比以往的标准多层电介质膜平面反射镜（TFM）更高。
- 通过使用合成熔融石英和增加基板厚度，可以提高Sigma反射镜的刚度。
- 西格玛光机反射镜包括用于紫外、YAG和其他激光器等各种波长的高反射镜。
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共同参数 |
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材质 |
合成熔融石英 |
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镀膜 |
多层电介质涂层 |
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入射角 |
45°±3° |
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表面精度 |
λ/10 |
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平行度 |
＜3′ |
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表面质量 |
10-5 |
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有效直径 |
外径的80% |
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反面 |
光学抛光 |
高面型精度反射镜的注意事项：
- 该产品不提供标准表面精度数据，若是需要表面精度数据文件，则需要额外的文件制作费用，请联系我们了解详情。
- 对于多层电介质膜，入射光束的偏振态不同，反射率波长特性也不同。P偏振的反射率低于S偏振，且反射带较窄，其中，反射率由P偏振光和S偏振光的平均值来表示。
- 如果不将入射角设置为45°而使用，反射率可能会降低。
- 如果不在适用的波长上使用，反射率也可能会降低。
西格玛光机OptoSigma的高平整度反射镜(High Surface Accuracy
Mirrors)在镀膜后表面精度可达到λ/10，该系列反射镜专为波长1064nm的ND YAG激光器以及波长248nm的更高频率激光器而设计。光学镀膜为多层电介质膜，这款多层电介质镜的入射角度是45°±3°，反射率高达R>99.5%，损伤阈值高达20J/cm2。高精度反射镜是通过优化基板材料、厚度和涂层条件实现的，其材质是熔融石英，因此，基板变厚，基板的刚性更好。
西格玛光机反射镜具备很多的标准品，同时，OptoSigma还可根据用户的需求定制生产各种反射镜，有需求的用户可联系我们为您提供更多的详细信息。
面精度保证反射镜图示
面精度保证反射镜的表面精度数据（参考数据）：
- 表面精度测量方法：使用Zygo激光干涉仪测量
- 表面精度测量波长：632.8nm
- 表面精确度温度：23°C±2°C
面精度保证反射镜的规格参数表：
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规格 |
波长 |
直径 |
厚度 |
反射率 |
损伤阈值 |
|
HTFM-12.7C08-248 |
248nm |
12.7mm |
8mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-25.4C08-248 |
248nm |
25.4mm |
8mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-30C08-248 |
248nm |
30mm |
8mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-50C11-248 |
248nm |
50mm |
11mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-50.8C11-248 |
248nm |
50.8mm |
11mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-12.7C08-266 |
266nm |
12.7mm |
8mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-25.4C08-266 |
266nm |
25.4mm |
8mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-30C08-266 |
266nm |
30mm |
8mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-50C11-266 |
266nm |
50mm |
11mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-50.8C11-266 |
266nm |
50.8mm |
11mm |
>99.2 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-12.7C08-308 |
308nm |
12.7mm |
8mm |
>99.5 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-25.4C08-308 |
308nm |
25.4mm |
8mm |
>99.5 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-30C08-308 |
308nm |
30mm |
8mm |
>99.5 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-50C11-308 |
308nm |
50mm |
11mm |
>99.5 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-50.8C11-308 |
308nm |
50.8mm |
11mm |
>99.5 % |
2J/cm2 |
|
HTFM-12.7C08-355 |
355nm |
12.7mm |
8mm |
>99.5 % |
5J/cm2 |
|
HTFM-25.4C08-355 |
355nm |
25.4mm |
8mm |
>99.5 % |
5J/cm2 |
|
HTFM-30C08-355 |
355nm |
30mm |
8mm |
>99.5 % |
5J/cm2 |
|
HTFM-50C11-355 |
355nm |
50mm |
11mm |
>99.5 % |
5J/cm2 |
|
HTFM-50.8C11-355 |
355nm |
50.8mm |
11mm |
>99.5 % |
5J/cm2 |
|
HTFM-12.7C08-532 |
532nm |
12.7mm |
8mm |
>99.5 % |
7J/cm2 |
|
HTFM-25.4C08-532 |
532nm |
25.4mm |
8mm |
>99.5 % |
7J/cm2 |
|
HTFM-30C08-532 |
532nm |
30mm |
8mm |
>99.5 % |
7J/cm2 |
|
HTFM-50C11-532 |
532nm |
50mm |
11mm |
>99.5 % |
7J/cm2 |
|
HTFM-50.8C11-532 |
532nm |
50.8mm |
11mm |
>99.5 % |
7J/cm2 |
|
HTFM-12.7C08-1064 |
1064nm |
12.7mm |
8mm |
>99.5 % |
20J/cm2 |
|
HTFM-25.4C08-1064 |
1064nm |
25.4mm |
8mm |
>99.5 % |
20J/cm2 |
|
HTFM-30C08-1064 |
1064nm |
30mm |
8mm |
>99.5 % |
20J/cm2 |
|
HTFM-50C11-1064 |
1064nm |
50mm |
11mm |
>99.5 % |
20J/cm2 |
|
HTFM-50.8C11-1064 |
1064nm |
50.8mm |
11mm |
>99.5 % |
20J/cm2 |
*激光脉宽10ns，重复频率20Hz
OptoSigma高精度平面反射镜的外形图和功能说明图：
左图：外形图，右图：功能说明图
OptoSigma高精度平面反射镜的反射率曲线图：
宽带介质膜平面反射镜0°-45°
日本西格玛光机SigmaKoki的0°-45°入射宽带介质膜平面反射镜凭借其宽带高反射率(反射率＞99%)、宽入射角(0°-45°入射)适应性和高耐久性，是多波长激光应用的理想选择。0°-45°入射宽带介质膜反射镜TFVMQ有四种波长范围可选，覆盖紫外、可见光和近红外波段，入射角可为0°至45°之间的任意角度，可简称为0°-45°激光反射镜。
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193nm ArF反射镜
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GFM/GCM负色散镜
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