
高精度六足位移台HP370线位移与角位移最小增量分别可达0.2μm和5μrad,双向重复定位精度同样保持在0.2μm与5μrad以内,确保运动过程精准可控,这使其特别适用于需要高可靠定位精度的研究与应用场景,如光学对准、同步辐射实验、显微操作及精密装配等领域。
所属品牌: 中科光学
高精度六足位移台HP370采用紧凑的并联机构设计,外形尺寸为φ300mm×370mm,在有限空间内实现了完整的六自由度运动能力。基于其高分辨力与优异的定位稳定性,该平台尤其适用于望远镜系统的光路校准以及六自由度运动模拟等应用场景。高精度六足位移台HP370线位移与角位移最小增量分别可达0.2μm和5μrad,双向重复定位精度同样保持在0.2μm与5μrad以内,确保运动过程精准可控。在≥15kg负载条件下,其直线运动行程能满足X、Y、Z轴±10mm,角度摆动行程各方向可达10°,能够充分覆盖多维精密调节所需的空间位姿范围。
六足位移台主要应用:
-望远镜主次镜调整
-主动隔振系统
-六自由度运动模拟
与通过堆叠多个单轴或两轴位移台来实现多自由度运动的方式相比,六足位移台在结构紧凑性和运动学复杂性之间提供了一种更为简洁且优雅的解决方案。它避免了多轴堆叠带来的结构误差累积、刚度下降及体积庞大等问题,通过并联运动学设计,在有限的空间内实现了灵活的空间定位与姿态调整能力。
高精度六足位移台HP370在这一类平台中表现出色,其关键优势在于提供可保证的精度指标,而非仅依赖理论计算。这使其特别适用于需要高可靠定位精度的研究与应用场景,如光学对准、同步辐射实验、显微操作及精密装配等领域。除了各运动轴的定位精度得到保障外,HP370在轴向运动过程中所伴随的俯仰与偏摆误差同样经过严格的测试与标定,具备明确的保证值。这意味着在复杂运动轨迹下,其姿态稳定性依然可控,能够满足对空间位姿有苛刻要求的精密实验需求。
六足位移台主要特点:
-六自由度运动
-响应速度快
-高伺服精度
-高刚性,大载重
HP370六足位移台主要参数指标:
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紧凑型六自由度平台HP370主要参数 |
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外形尺寸 |
φ300×370mm |
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负载能力 |
≥15kg |
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X Y Z轴向行程 |
x≥10mm,y≥10mm,z≥10mm |
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α β γ角向行程 |
α≥10°,β≥10°,γ≥10° |
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线性位移最小增量 |
0.2um |
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角向位移最小增量 |
5uRad |
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线性重复定位精度 |
0.2um |
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角向重复定位精度 |
5uRad |

Zaber线性模组LDA
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