CW 257nm激光器

所属品牌： Oxide

产品介绍

Frequad-M57 型号257nm连续激光器，传承日本OXIDE品牌深厚的技术底蕴与严格的制作工艺，能够保证产品的优异性能以及优秀品质。257.5nm连续激光器输出功率覆盖区间0.3w-1w，可适配多种激光能量需求。257.5nm连续激光器光束质量良好，光束质量因子 M²<1.2，能量高度汇聚，光斑均匀精准，可应用于精细加工、科学研究等范畴。运行时，因为257连续激光器优异的性能，需要为257.5nm连续激光器配置水冷装置，确保设备在各种工作环境下仍可以保证稳定输出。

Frequad-M57 257 CW激光器主要特点：

- CW 257nm激光器使用超高纯度BBO晶体

OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小，高光束质量保证了长时间的稳定运行。

- CW 257nm激光器应用精密的伺服锁定技术

独特的高速、高精度音圈电机（VCM）伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。

- 257 CW激光器功耗极低

高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。

CW 257nm激光器技术参数表：

波长	257.5 nm
输出功率	0.3 W, 0.5 W, 0.7 W, 1 W
线宽	< 0.005 pm
消光比	> 100 : 1
光束质量	TEM00, M2 < 1.3
偏振	垂直、线性
电源	AC 100-240 V, 50/60 Hz
电耗	< 340 W
冷却	水冷
尺寸	350 x 590 x 124 mm

单频深紫外激光器Frequad-M57产品概述

257nm连续激光器（Frequad-M57）是连续波（CW）单频深紫外激光器，是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。由于257nm CW激光器波长与气体激光器氩离子激光器的二次谐波（SHG）相同，257nm CW激光器专为现有气体激光器用户或该波长的新用户设计，不易操作和维护。257连续激光器不仅稳定，而且高度可靠。因此，当CW257nm激光器应用于光刻设备、检测工具和现场流量计时，它可以做到降低维护频率和运行成本。Frequad系列单频深紫外激光器作为具有266nm深紫外（DUV）波长的连续波（CW）单频波长转换激光器已有20多年的历史，257nm连续激光器基于Frequad系列（Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C）成功的基础上，应用了OXIDE的全部核心技术。