本文介绍了Mad City Labs公司设计制造的多个三维纳米平台的型号规格和特点，该系列产品运动行程覆盖75-300um，精度可达0.1nm
所属品牌： Mad City Labs
为了配合精度要求日益增高的显微镜领域、微纳加工领域、光纤领域的各种应用，Mad City Labs（MCL）推出了了一系列压电三轴纳米定位台的产品，行程覆盖75-300um，精度可达0.1nm。不同的设计、尺寸，可以更好的适配不同客户在不同领域的需求。
Nano-3D500系列三维压电纳米定位台：
Nano-3D500 是一种长距离、三轴（XYZ）铝制压电纳米定位系统。Nano-3D500三维压电纳米定位台是光学对准应用和高精度静态定位的理想之选，它采用独特的内部挠性结构，可在所有轴上产生独立、隔离的运动。高分辨率位置传感器与闭环控制相结合，可提供绝对、可重复的位置测量和长期稳定性。直径为 0.5 英寸的中心孔为平台提供了潜在的有用光路。无线三轴操纵杆控制器可方便地进行快速、精确的手动对准，无需计算机编程。
主要应用：
-光纤对准
-混合式定位系统
-微纳机械加工
-微纳操作
Nano-3D500系列三维压电纳米定位台规格参数：
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型号 |
Nano-3D500 |
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行程（XYZ） |
500 |
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分辨率(X/Y/Z) |
1 nm |
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X轴共振频率 |
75 Hz ±20% |
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Y轴共振频率 |
60 Hz ±20% |
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Z轴共振频率 |
130 Hz ±20% |
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刚度 |
1.0 N/μm |
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最大负载(纵向) |
0.0 kg |
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最大负载(横向) |
0.2 kg |
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材质 |
铝 |
Nano-3D500系列三维压电纳米定位台
Nano-M350系列压电三轴纳米定位台：
Nano-M350 是一种紧凑型三轴（X、Y、Z）压电纳米定位系统，由铝制成。在闭环控制下，XY 移动范围为 50 μm，Z 轴为 20 μm。Nano-M350压电三轴纳米定位台结构紧凑，可轻松集成到纳米光刻、扫描电子显微镜等应用的现有仪器中。压电三轴纳米定位台内部位置传感器采用MCL专有的 PicoQ® 技术，可在闭环控制下提供皮米级精度的绝对、可重复位置测量。Nano-M350 设计用于 Z 轴的高速性能，同时保持高精度运动，还提供高真空兼容型号。
主要应用：
纤对准
-MEMS
-纳米光刻技术
-SEM
Nano-M350系列压电三轴纳米定位台规格参数：
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型号 |
Nano- M350 |
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行程（XY） |
50 um |
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行程（Z） |
20 um |
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分辨率(X/Y) |
0.04 nm |
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分辨率(Z) |
0.1 nm |
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X轴共振频率 |
285 Hz ±20% |
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Y轴共振频率 |
285 Hz ±20% |
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Z轴共振频率 |
1580 Hz ±20% |
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θ roll, θ pitch (typical) |
≤1 μrad |
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θ yaw (typical) |
≤3 μrad |
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最大负载(纵向) |
0.2 kg |
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最大负载(横向) |
0.5 kg |
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材质 |
铝 |
Nano- M350系列压电三轴纳米定位台
Nano-HS3M系列XYZ压电纳米定位台：
Nano-HS3M 是一种高速、XYZ 精确压电纳米定位系统，具有皮米定位分辨率。Nano-HS3M XYZ压电纳米定位台具有最大的通用性，专为要求苛刻的计量应用而设计。内部位置传感器采用MCL专有的 PicoQ® 技术，在闭环控制下提供绝对、可重复的位置测量。紧凑的占地面积、超低噪声特性和 13.5kHz 的 Z 轴谐振频率使其成为要求皮米级噪声底线和高速性能的计量应用的理想之选。
主要应用：
-高速、高精度定位
-测量
-AFM
-SPM
Nano-HS3M系列XYZ压电纳米定位台规格参数：
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型号 |
Nano-HS3M |
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行程（XY） |
10 um |
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行程（Z） |
5 um |
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分辨率(X/Y/Z) |
0.01 nm |
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X轴共振频率 |
1.6 kHz |
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Y轴共振频率 |
1.5 kHz |
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Z轴共振频率 |
13.5 kHz |
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最大负载(纵向) |
0.1 kg |
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最大负载(横向) |
0.1 kg |
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材质 |
铝或钛 |
Nano-HS3M系列XYZ压电纳米定位台
Nano-LP系列MCL三轴纳米压电位移台：
Nano-LP 系列是超扁平MCL三轴纳米压电位移台，三个轴的运动范围分别为 100、200 和 300 微米。Nano-LP 系列MCL三轴纳米压电位移台高度低，可以轻松集成到现有的倒置光学显微镜中。Nano-LP 系列具有更宽的运动范围，非常适合需要远距离移动、快速扫描速率和三轴运动的苛刻显微镜应用。Nano-LP 系列的内部位置传感器采用Mad City Labs专有的 PicoQ® 技术，可在闭环控制下提供皮米级精度的绝对、可重复位置测量。
主要应用：
-光学显微镜，易于改装
-光学捕获实验
-荧光成像
-准直和校准
-单分子光谱
-超分辨率显微镜
Nano-LP系列MCL三轴纳米压电位移台规格参数：
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型号 |
Nano-LP100 |
Nano-LP200 |
Nano-LP300 |
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行程 |
100 x 100 x 100 μm |
200 x 200 x 200 μm |
300 x 300 x 300 μm |
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分辨率 |
0..2 nm |
0.4 nm |
0.6 nm |
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X轴共振频率 |
450 Hz ±20% |
400 Hz ±20% |
350 Hz ±20% |
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Y轴共振频率 |
350 Hz ±20% |
300 Hz ±20% |
250 Hz ±20% |
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Z轴共振频率 |
450 Hz ±20% |
350 Hz ±20% |
250 Hz ±20% |
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θ roll, θ pitch (typical) |
≤1 μrad |
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θ yaw (typical) |
≤3 μrad |
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刚度 |
1.0 N/μm |
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最大负载（横向） |
0.5 kg |
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最大负载（纵向） |
0.2 kg |
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材料 |
Al (全部型号), 殷钢或钛 (100 or 200μm) |
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Nano-LP系列MCL三轴纳米压电位移台
Nano-LPMW系列XYZ轴压电纳米扫描台：
Nano-LPMW 是一种独特的XYZ轴压电纳米扫描台，设计用于固定多孔板、载玻片、培养皿和环境室。Nano-LPMW XYZ轴压电纳米扫描台外形小巧，中心孔径超大，三轴运动范围均为 200 微米。Nano- LPMW 系列高度较低，可轻松集成到现有的倒置光学显微镜中，并与一系列显微镜平台兼容。与相关的 Nano-LPS 系列一样，Nano-LPMW 也是要求远距离移动、高稳定性和三轴运动的苛刻显微镜应用的理想之选。Nano-LPMW 是唯一可固定多孔板和培养箱的三轴压电纳米定位系统。
主要应用：
-光学显微镜，易于改装
-光学捕获实验
-荧光成像
-准直和校准
-单分子光谱
-超分辨率显微镜
Nano-LPMW系列XYZ轴压电纳米扫描台规格参数：
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型号 |
Nano-LPMW |
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行程 |
200*200*200 um |
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分辨率 |
0.4 nm |
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X轴共振频率 |
105 Hz ±20% |
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Y轴共振频率 |
90 Hz ±20% |
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Z轴共振频率 |
195 Hz ±20% |
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θ roll, θ pitch (typical) |
≤40 μrad |
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θ yaw (typical) |
≤20 μrad |
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最大负载（纵向） |
0.2 kg |
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最大负载（横向） |
0.5 kg |
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材质 |
铝 |
Nano-LPMW系列MCL三轴纳米压电位移台
Nano-LPQ系列MCL三维纳米平台：
Nano-LPQMCL三维纳米平台是一种超扁平、高速、三轴压电纳米定位系统，XY 轴行程为 75 微米，Z 轴行程为 50 微米。为最大限度地减少移动质量，轻型样品架集成到平台中，是唯一的移动部件。这种独特的设计使三个运动轴具有匹配的共振频率和阶跃响应时间。相同的三轴速度对于三维粒子跟踪等应用特别有用。Nano-LPQMCL三维纳米平台采用内部位置传感器，利用Mad City Labs专有的 PicoQ® 技术，在闭环控制下以亚纳米分辨率提供绝对、可重复的位置测量。另一个值得考虑的系统：Nano-PDQ 系列具有类似的高速定位性能，但样品安装面积更大，负载能力更强。
主要应用：
-光学显微镜，易于改装
-光学捕获实验
-荧光成像
-粒子追踪
-单分子光谱
Nano-LPQ系列MCL三维纳米平台规格参数：
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型号 |
Nano-LPQ |
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行程 |
75*75*50 um |
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分辨率(X/Y/Z) |
0.2/0.2/0.1 nm |
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共振频率（X/Y/Z） |
1000 Hz ±20% |
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θroll , θpitch(typical) |
≤1 μrad |
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θyaw (typical） |
≤3 μrad |
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刚度 |
1.0 N/μm |
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最大负载(纵向) |
100 g |
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最大负载(横向) |
100 g |
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材质 |
铝 |
Nano-LPQ系列MCL三轴纳米压电位移台
Nano-LPS系列纳米XYZ轴扫描台：
Nano-LPS 系列是超扁平纳米XYZ轴扫描台，所有三个轴的运动范围分别为 100、200 和 300 微米。Nano-LPS 系列纳米XYZ轴扫描台高度低，可以轻松集成到现有的倒置光学显微镜中。与相关的 Nano-LP 系列一样，Nano-LPS 系列是要求远距离移动、快速扫描速率和三轴运动的苛刻显微镜应用的理想之选。Nano-LPS 的中心孔径很大，足以容纳全尺寸的 3 英寸（75 毫米）标准载玻片，非常适合生物样本。通过与 PicoQ® 位置传感器相结合的闭环控制，可实现精确、可重复的运动。
主要应用：
-光学显微镜，易于改装
-光学捕获实验
-荧光成像
-准直和校准
-单分子光谱
-超分辨率显微镜
Nano-LPS系列纳米XYZ轴扫描台规格参数：
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型号 |
Nano-LPS100 |
Nano-LPS200 |
Nano-LPS300 |
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行程（X，Y，Z） |
100 x 100 x 100 μm |
200 x 200 x 200 μm |
300 x 300 x 300 μm |
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分辨率 |
0.2 nm |
0.4 nm |
0.6 nm |
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X轴共振频率 |
400 Hz ±20% |
350 Hz ±20% |
300 Hz ±20% |
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Y轴共振频率 |
400 Hz ±20% |
350 Hz ±20% |
300 Hz ±20% |
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Z轴共振频率 |
400 Hz ±20% |
300 Hz ±20% |
200 Hz ±20% |
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刚度 |
1.0 N/μm |
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θ roll, θ pitch (typical) |
≤1 μrad |
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θ yaw (typical) |
≤3 μrad |
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最大负载（纵向） |
0.2 kg |
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最大负载（横向） |
0.5 kg |
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材质 |
Al (全部型号), 殷钢或钛 (100 or 200μm) |
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Nano-LPS系列纳米XYZ轴扫描台
Nano-3D200系列三维纳米压电平台：
Nano-3D200 是一种紧凑型三维纳米压电平台，由铝制成。Nano-3D200三维纳米压电平台结构紧凑，可以轻松与粗定位平台和标准光学夹具附件集成。内部位置传感器与闭环控制相结合，可提供绝对、可重复的位置测量和长期稳定性。每个轴的独立挠性导轨运动提供了机械隔离，确保对齐调整时轴之间的串扰最小。还提供无线三轴操纵杆控制器，无需计算机编程即可进行快速、精确的手动对准。
主要应用：
-光纤对准
-混合式定位系统
-纳米加工
Nano-3D200系列三维纳米压电平台：
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型号 |
Nano-3D200 |
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行程（XYZ） |
200 um |
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分辨率(X/Y/Z) |
1 nm |
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X轴共振频率 |
150 Hz ±20% |
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Y轴共振频率 |
150 Hz ±20% |
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Z轴共振频率 |
500 Hz ±20% |
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刚度 |
1.0 N/μm |
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最大负载(纵向) |
0.2 kg |
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最大负载(横向) |
0.5 kg |
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材质 |
铝 |
Nano-3D200系列三维纳米压电平台
XY轴纳米压电定位平台
Nano-PDQ 系列纳米定位平台是高速精密多轴压电纳米定位系统。Nano-PDQ 系列占地面积小，中心孔径大，同时还具有快速响应和亚纳米级精度。Nano-PDQ 系列纳米定位平台非常适合需要高扫描速率或大负载能力的应用。
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高精度Z轴压电纳米定位器
Nano-Z纳米压电定位台是高精度Z轴压电纳米定位器，专门用于固定载玻片、腔室载玻片、盖玻片和 35 毫米培养皿。适配大多数显微镜平台
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MCL纳米物镜扫描台
Nano-F系列纳米压电物镜定位台MCL是行程为100或200 um的纳米压电物镜定位器。Nano-F 系列物镜聚焦模块可作为独立系统使用，也可与MCL的其他纳米定位平台配合使用。
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SP-Mini-500压电纳米定位台
英国Prior•queenstage 推出的压电纳米定位平台：SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台，是一款用于纳米样品定位的长行程电动Z轴，闭环行程500um。
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