作者:admin 时间:2025-2-21 11:19:14
OptoSigma(西格玛光机,Sigmakoki)的精密平台采用了无间隙行程的弹性变形金属架构,并结合了压电陶瓷的变形放大技术。这一创新设计是OptoSigma公司的独到之处,使得在闭环控制下能够达到10nm的极高分辨率,成为高速、精密定位的理想自动平台。OptoSigma公司研发的这种平台,通过其独特的无空行程弹性金属结构和压电陶瓷放大机制,实现了10nm的精细分辨率,非常适合于高速精密定位的需求。
纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的构造
图1:SFS-H内部构造图
SFS系列是小位移传感器,不需要高精度的模拟信号放大器或AD变换回路,就可以实现闭环控制。并且,压电陶瓷驱动机构和变形放大机构实现了较大的行程范围。
图2:变形放大方法示意图
纳米台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米定位平台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的使用环境
请在制定工作稳定范围内使用精密位移台。
使用环境 |
推荐使用环境 |
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温度 |
10℃~30℃ |
温度 |
20℃±1℃ |
湿度 |
20%~60%(非结露) |
湿度 |
40%以下 |
SFS/SFS-H系列位移台上使用的压电陶瓷元件,在高湿度的环境中使用时,其耐久性可能会恶化,请注意。
压电陶瓷平台/纳米定位平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列配置图
图3:SFS系列配置图
精度测定案例:纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS-H平台
0↔75μm往复频率(16Hz),闭环控制时,使用SFS-H60X,载荷150g。
0→1μm步进收敛数据(15msec)闭环控制时,使用SFS-H60X,载荷150g。
图4:高速收敛数据
开环控制时的移动量显示压电执行机构的磁滞曲线。
图5:位移量
0↔80μm直线性误差在0.3%以内,闭环控制时,使用SFS-H60X,载荷150g。
图6:直线性
闭环控制状态下微小进给时的特性。没有了开环控制时的磁滞特性
图7:微小进给特性
直线度:前进方向的直线度。
图8:直线度
俯仰:相对前进方向而言的俯仰误差
图9:俯仰
左右摆动特性:相对前进方向左右摆动角。
图10:左右摆动特性
输入模拟信号时的响应特性例:SFS-H(平移台)*使用FINE-01γ控制时
高速收敛数据输入信号:深蓝色/位移量:淡蓝色,图11(1),SFS-H40X阶梯波(步进50nm的20个台阶);图11(2),SFS-H40X锯齿波输入波形(等速运动35µm1Hz);图11(3),SFS-H40X矩形波(30Hz);图11(4),SFS-H40X正弦波(30Hz)。
图11:输入模拟信号时的相应特性示意图