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OptoSigma纳米台, 纳米压电平台SFS-H简介,闭环控制10nm分辨率、高速度、超精密纳米定位平台

作者:admin  时间:2025-2-21 11:19:14

OptoSigma(西格玛光机,Sigmakoki)的精密平台采用了无间隙行程的弹性变形金属架构,并结合了压电陶瓷的变形放大技术。这一创新设计是OptoSigma公司的独到之处,使得在闭环控制下能够达到10nm的极高分辨率,成为高速、精密定位的理想自动平台。OptoSigma公司研发的这种平台,通过其独特的无空行程弹性金属结构和压电陶瓷放大机制,实现了10nm的精细分辨率,非常适合于高速精密定位的需求。


纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的构造



1SFS-H内部构造图

SFS系列是小位移传感器,不需要高精度的模拟信号放大器或AD变换回路,就可以实现闭环控制。并且,压电陶瓷驱动机构和变形放大机构实现了较大的行程范围。


2:变形放大方法示意图


纳米台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米定位平台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的使用环境

请在制定工作稳定范围内使用精密位移台。

使用环境

推荐使用环境

温度

10℃~30

温度

20℃±1

湿度

20%~60%(非结露)

湿度

40%以下

SFS/SFS-H系列位移台上使用的压电陶瓷元件,在高湿度的环境中使用时,其耐久性可能会恶化,请注意。


压电陶瓷平台/纳米定位平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列配置图

3SFS系列配置图


精度测定案例:纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS-H平台

0↔75μm往复频率(16Hz),闭环控制时,使用SFS-H60X,载荷150g

0→1μm步进收敛数据(15msec)闭环控制时,使用SFS-H60X,载荷150g

4:高速收敛数据

开环控制时的移动量显示压电执行机构的磁滞曲线。

5:位移量

0↔80μm直线性误差在0.3%以内,闭环控制时,使用SFS-H60X,载荷150g。

6:直线性

闭环控制状态下微小进给时的特性。没有了开环控制时的磁滞特性

7:微小进给特性

直线度:前进方向的直线度。

8:直线度

俯仰:相对前进方向而言的俯仰误差

9:俯仰

左右摆动特性:相对前进方向左右摆动角。

10:左右摆动特性


输入模拟信号时的响应特性例:SFS-H(平移台)*使用FINE-01γ控制时

高速收敛数据输入信号:深蓝色/位移量:淡蓝色,图111),SFS-H40X阶梯波(步进50nm20个台阶);图112),SFS-H40X锯齿波输入波形(等速运动35µm1Hz);图113),SFS-H40X矩形波(30Hz);图114),SFS-H40X正弦波(30Hz)。

11:输入模拟信号时的相应特性示意图












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