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可生产制作微结构纳米柱、纳米孔、纳米光栅等高度依赖纳米压印技术(Nanoimprint Lithography)的高精尖产品

作者:admin  时间:2024-11-8 5:45:01

我司可使用纳米压印技术(Nanoimprint Lithography)在碳化硅、铌酸锂、单晶硅、光学玻璃以及其它金属基底上批量加工微结构纳米光栅(Nanograting)、微结构纳米孔(Nanopores)、微结构纳米柱(Nanopillars)等产品。可加工线宽最小50nm,深度最大300nm,尺寸最大8英寸。基底材质包括石英玻璃、光学玻璃、PDMSPCPET、硅片、硅胶和其它热塑性高分子材料,并且我司还可根据您的要求定制化制作。

一、微结构纳米柱(Nanopillars)

微结构纳米柱(Nanopillars)是直径在纳米级别的柱状结构,通常组合成点阵或森林状结构。

主要应用领域:(1)高效太阳板,纳米柱底部参杂,可以使光停留时间延长,可捕获更多的光(2)高分辨细胞分析(3)抗细菌表面

我司通过纳米压印工艺(Nanoimprint Lithography)可以在不同材质基底上批量加工微结构纳米柱(Nanopillars)结构。

特征尺寸:直径≥20nm,周期≥40nm,最大深宽比10:1


参数

- 高度250nm,150~200nm

- 孔径340nm

- 周期680nm

- 尺寸6英寸

我们的加工能力

- 最小孔径50nm

- 最大深度300nm

- 最大尺寸8英寸

- 基底材质:光学玻璃、石英玻璃、硅片、PDMS、硅胶、PC、PET和其它热塑性高分子材料

- 可根据您的要求定制化制作


应用场景

传感器、激光技术、电子、AR、VR等


二、微结构纳米光栅(Nanograting


微结构纳米光栅(Nanograting)由平行的纳米条纹构成,具有特殊的化学和物理性质,是光通信的关键器件,在光谱、全息投影、光学测量领域有着重要应用。我司可在光学玻璃、铌酸锂、碳化硅、单晶硅以及其它金属基底上批量加工微结构纳米光栅。

特征尺寸:直径≥20nm,周期≥40nm,最大深宽比101

参数

- 线宽200nm150nm

- 周期400nm300nm

- 深度300nm

- 尺寸2英寸

- 深宽比基本都是1:2

我们的加工能力

- 最小线宽50nm

- 最大深度300nm

- 最大尺寸8英寸

- 基底材质:光学玻璃、石英玻璃、硅片、PDMS、硅胶、PCPET和其它热塑性高分子材料

- 可根据您的要求定制化


应用场景

激光技术、生物医学、光通讯、光传感器等


三、微结构纳米孔(模组光栅片)

微结构纳米孔(Nanopores)是一种直径在纳米级别的微小孔洞,我司通过纳米压印技术(Nanoimprint Lithography)可以在光学玻璃、单晶硅、碳化硅以及其它金属基底上批量加工微结构纳米孔结构。

微结构纳米孔(Nanopores)应用领域:(1)光学(2)基因测序(3)蛋白结构和序列的表征(4)单分子化学(5)用于模拟生物系统的合成纳米孔(6)识别和量化生物标志物

特征尺寸:直径≥20nm,周期≥40nm,最大深宽比101


参数

- 孔径260nm200nm

- 深度280nm

- 周期600nm

- 尺寸25mm

我们的加工能力

- 最小孔径50nm

- 最大深度300nm

- 最大尺寸8英寸

- 基底材质:光学玻璃、石英玻璃、硅片、PDMS、硅胶、PCPET和其它热塑性高分子材料

- 可根据您的要求定制化


应用场景

生物医学、能源领域应用等


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