振动标准的定义，VC振动标准，隔振等级

曲线标准

Velocity₁

μm/s  (μin/s)

Detail Size₂

μm

使用说明

Workshop (ISO)

800( 32,000)

N/A

可明显感觉到振动。适用于车间和非敏感区域。

Office (ISO)

400 (16,000)

N/A

可感知振动。适用于办公室和非敏感区域

Residential Day (ISO)

200 (8000)

75

几乎感觉不到的振动。大多数情况下适用于睡眠区。通常适用于计算机设备、医院康复室、半导体探针测试设备和 40 倍以下的显微镜。

Op. Theatre (ISO)

100 (4000)

25

振动不易察觉。大多数情况下适用于手术室、100 倍以下的显微镜和其他低灵敏度设备。

VC-A

50 (2000)

8

在大多数情况下，适用于 400 倍以下的光学显微镜、微量天平、光学天平、接近和投影校准器等。

VC-B

25 (1000)

3

适用于线宽为 3 μm 的检测和光刻（包括步进器）。

VC-C

12.5 (500)

1-3

适用于 1000 倍以下的光学显微镜、1 微米细节尺寸的检测和光刻检测设备（包括中等灵敏度的电子显微镜）、TFT-LCD 步进/扫描仪。

VC-D

6.25 (250)

0.1-0.3

在大多数情况下，适用于要求最苛刻的设备，包括电子显微镜（TEM 和 SEM）和电子束系统。

VC-E

3.12 (125)

< 0.1

具有挑战性的标准。适用于最苛刻的敏感系统，包括长路径、激光、小目标系统、纳米尺度的电子束光刻系统，以及其他需要超高动态稳定性的系统。

VC-F

1.56 (62.5)

N/A

适用于极度安静的研究空间；在大多数情况下，尤其是洁净室，一般很难实现。不建议用作设计标准，仅用于评估。

VC-G

.78 (31.3)

N/A

适用于极度安静的研究空间；在大多数情况下通常难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。

NIST-A

NIST-A 标准在频率高于 20 Hz 时与 VC-E 曲线相同，但在频率低于 20 Hz 时保持恒定位移。1 至 20 Hz 之间为 0.025 μm 或 25 nm；20 至 100 Hz 之间为 3.1 μm /s（125 μ in /s）。

NIST-A1

NIST-A1 标准要求频率低于 4 Hz 时的 RMS 速度为 3 μm /sec (118 μ 英寸/秒)，频率为 4 Hz < f < 100 Hz 时的 RMS 速度为 0.75 μm /sec (29.5 μ 英寸/秒)

VC-H

.39 (15.63)

N/A

适用于极度安静的研究空间；在大多数情况下，尤其是洁净室，通常很难实现。不建议用作设计标准，仅用于评估。

VC-I

.195 (7.81)

N/A

适用于极度安静的研究空间；通常在大多数情况下难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。

VC-J

.097 (3.9)

N/A

适用于极其安静的研究空间；在大多数情况下通常难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。

VC-K

.048 (1.95)

N/A

适用于极其安静的研究空间；在大多数情况下通常难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。

VC-L

.024 (0.98)

N/A

适用于极其安静的研究空间；在大多数情况下通常难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。

VC-M

.012 (0.49)

N/A

适用于极其安静的研究空间；在大多数情况下通常难以实现，尤其是洁净室。不建议用作设计标准，仅用于评估。